產品介紹
TG-F 系列 · 油脂潤滑式渦輪分子幫浦 (Grease Lubricated Turbo Molecular Pumps)
TG-F 50F~ 2400F
高耐受精密陶珠軸承分子幫浦
採用高性能精密接觸式陶珠軸承與獨家油脂潤滑技術,具備極佳的大氣突入耐受剛性與超快速啟動效能。終身免另外補充潤滑脂,完美對接科學儀器、表面分析及半導體一般製程。
效能指標總覽 (Performance Overview)
TG-F 精密軸承模組優勢
核心技術優勢 (Key Technical Features)
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高剛性陶珠軸承與耐大氣突入結構
吸氣口與轉子核心端採用高規格精密陶瓷滾珠軸承。相較於傳統大體積液潤滑軸承,具備極佳的耐衝擊剛性,當前級或腔體發生非預期突發性真空破裂(Air Inrush)時,能提供更強韌的抗毀損防護力。
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終身免補充潤滑脂(Grease)長效封裝
運用大阪真空頂尖的封閉式高溫潤滑脂封裝技術,幫浦運轉期間內完全無需像傳統油潤滑機型般定期補充、更換或監測潤滑油水位。大幅降低產線防禦性保養(PM)的工時與繁瑣管路維護成本。
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極速啟動效能與超精巧機身機動性
由於機械摩擦慣性低且熱平衡速度快,幫浦由零加速至額定最高轉速的定速啟動時間極為短暫(精巧型號僅需約 1.5 分鐘)。搭配免除冷卻油迴路的極輕量化結構,極適合整合進移動式抽氣機組或分析儀器中。
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360度全方位自由架設彈性
不論是垂直向上、水平橫向或倒置懸掛,TG-F 系列油脂式分子幫浦均支援 360 度任意傾斜角度安裝。為空間極度受限的科研設備機箱(如電子顯微鏡系統)提供完美的布局彈性。
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高性價比的超高真空整合解決方案
當吸氣口法蘭搭配金屬密封刀口 CF 法蘭(ConFlat Flange)並進行機身烘烤脫氣後,極限壓力可穩定達到超高真空(< 10⁻⁸ Pa)等級。以極具競爭力的購置與保養維護成本,提供媲美磁浮機型的極淨超高真空表現。
真空介面選型對照 (Interface Standards)
緊湊型移動式抽氣機組整合 (ST-Compact)
大阪真空提供以 TG-F 系列油脂幫浦為核心的 **ST-Compact 複合式移動抽氣站一體機**。直接於底座整合隔膜式乾式排氣幫浦(Diaphragm pump)或直結式油迴轉幫浦,打造即插即用、手提式高機動性的實驗室高真空源。
TG-F 系列精密陶珠軸承分子幫浦產品型號命名解碼
TG [排氣能力容量代碼] F [吸氣口法蘭型式與尺寸編號]
請參考下方結構化選型定義,用以解碼或配置最符合您標準真空腔體、檢測分析設備的最適部件:
TG70F: 額定氮氣抽速 47~53 L/s
TG200F / TG220F: 抽氣速率 200~220 L/s
TG550F: 中大排速容量 550 L/s
TG2400F: 工業級超高大抽速 2400 L/s
VG / VG-F: 日本工業規格橡膠圈密封法蘭接口
ISO / ISO-K: 國際標準雙爪緊固式高真空法蘭介面
CF (ConFlat): 超高真空(UHV)金屬墊片刀口型特殊 Flange
N (Forced Air Cooling): 精巧機身專用強制氣冷型自冷冷卻風扇
W (Water Cooling): 高熱負載/連續大製程吞吐量專用水冷迴路
技術規格矩陣表 (Technical Specification Matrix)
| 精密陶珠軸承型分子幫浦核心參數 | TG70F | TG200F | TG220F | TG550F |
|---|---|---|---|---|
| 氮氣抽氣速率 (Pumping Speed - N2) | 47 L/s | 200 L/s | 220 L/s | 550 L/s |
| 氫氣抽氣速率 (Pumping Speed - H2) | 35 L/s | 110 L/s | 110 L/s | 350 L/s |
| 吸氣口法蘭型式與尺寸 (Inlet Flange Options) | VG40 / ISO63 / CF70 | VG100 / ISO100 | CF152 Only | VG150 / ISO160 / CF203 |
| 排氣口法蘭標準 (Foreline Flange) | KF16 | KF16 / KF25 | KF16 / KF25 | KF25 / KF40 |
| 極限壓力 - 標準橡膠圈密封 (Ultimate Pressure) | < 10⁻⁵ Pa (VG/ISO) | < 10⁻⁵ Pa (VG/ISO) | — | < 10⁻⁵ Pa (VG/ISO) |
| 極限壓力 - 金屬無油脫氣密封 (UHV Type) | < 10⁻⁸ Pa (CF法蘭) | — | < 10⁻⁸ Pa (CF法蘭) | < 10⁻⁸ Pa (CF法蘭) |
| 額定運轉最高轉速 (Rotational Speed) | 72,000 rpm | 45,000 rpm | 45,000 rpm | 33,000 rpm |
| 定速加速起動時間 (Startup Time) | ≤ 1.5 分鐘 | ≤ 4.0 分鐘 | ≤ 4.0 分鐘 | ≤ 5.0 分鐘 |
| 容許架設安裝角度 (Mounting Orientation) | 360度任意角度自由架設 | 360度任意角度自由架設 | 360度任意角度自由架設 | 360度任意角度自由架設 |
* 備註:TG-F 全系列油脂機型底座均內建精準控溫熱敏電阻(Thermistor)傳感器,具備過載、過熱數位診斷防護防禦連鎖線路。
高性價比目標真空應用領域
技術支援與在地化服務
九德松益(Cutes Corp)自1998年起,為日本大阪真空(OSAKA VACUUM, LTD)渦輪分子幫浦之臺灣總代理與原廠授權維修服務據點,深耕臺灣。
結合九德松益逾半世紀在台灣工業真空領域的厚實根基,與日本大阪真空(Osaka Vacuum)享譽國際的高端接觸式陶珠軸承設計與精密長效 Grease 潤滑配方,我們專為科學檢測儀器、真空腔體與實驗室提供最經濟高效、穩定高剛性的高真空配置。臺灣本地技術常設原廠維修據點與工程團隊,提供極速、原廠級規格的陶珠軸承清洗更換、動平衡校正(Balancing)與防禦維護(PM),常備原廠零件封裝油脂,為廠端研發與分析製程產線帶來最高時效、零時差的信賴售後保障。
可靈活模組化搭配無油乾式排氣幫浦(Dry pump),打造完全無油油氣污染、隨推即用且高機動性的攜帶式高真空系統。
免去磁浮控制器調校及冷卻油複雜管線,控制箱外觀體積精簡極小化,顯著降低系統初期的資本購置與日後耗材支出。