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產品介紹

TG-F系列(油脂潤滑式)

TG-F系列(油脂潤滑式)

型號:TG-F
規格:TG50F~TG2400F
360度任意安裝角度
採用接觸式陶珠軸承設計、較耐大氣突入
啟動時間快速
無需另外補充Grease

TG-F 系列 · 油脂潤滑式渦輪分子幫浦 (Grease Lubricated Turbo Molecular Pumps)

TG-F 50F~ 2400F
高耐受精密陶珠軸承分子幫浦

採用高性能精密接觸式陶珠軸承與獨家油脂潤滑技術,具備極佳的大氣突入耐受剛性與超快速啟動效能。終身免另外補充潤滑脂,完美對接科學儀器、表面分析及半導體一般製程。

日本大阪真空 臺灣官方代理・維修據點|九德松益 排氣速度:47 – 2,400 L/s (N2) 架設自由:360度任意角度安裝限制限制 長效免維護:長壽命精煉 Greases 封裝技術

效能指標總覽 (Performance Overview)

最小吸氣口排速
47
L/s (TG70F 氮氣基準)
最大吸氣口排速
2,400
L/s (TG2400F 氮氣基準)
超快起動時間
≤ 1.5
分鐘 (精巧款運轉加速極限)
到達極限壓力
<10⁻⁸
Pa (CF金屬刀口法蘭烘烤後)

TG-F 精密軸承模組優勢

高剛性接觸式陶珠軸承設計
軸承材質高硬度精密陶瓷滾珠 (Ceramic Bearings)
耐受特點極佳抗衝擊能力,高耐受前級非預期大氣突入
運轉效益機械剛性高,啟動運轉與動態加速反應極為迅速
安裝架設完全打破重力液體限制,支援 360 度任意角度自由安裝
零維護長效型油脂封裝技術
潤滑型式高精密封閉式 Greases 潤滑結構
補充需求採用獨家精煉技術,運轉生命週期內完全無須另外補充潤滑脂
污染防護低蒸氣壓油脂配方結合迷宮式密封,有效抑止油氣逆流
配置便利不需任何冷卻油管路與監測油位視窗,機身大幅輕量微縮化

核心技術優勢 (Key Technical Features)

  •  

    高剛性陶珠軸承與耐大氣突入結構

    吸氣口與轉子核心端採用高規格精密陶瓷滾珠軸承。相較於傳統大體積液潤滑軸承,具備極佳的耐衝擊剛性,當前級或腔體發生非預期突發性真空破裂(Air Inrush)時,能提供更強韌的抗毀損防護力。

  •  

    終身免補充潤滑脂(Grease)長效封裝

    運用大阪真空頂尖的封閉式高溫潤滑脂封裝技術,幫浦運轉期間內完全無需像傳統油潤滑機型般定期補充、更換或監測潤滑油水位。大幅降低產線防禦性保養(PM)的工時與繁瑣管路維護成本。

  •  

    極速啟動效能與超精巧機身機動性

    由於機械摩擦慣性低且熱平衡速度快,幫浦由零加速至額定最高轉速的定速啟動時間極為短暫(精巧型號僅需約 1.5 分鐘)。搭配免除冷卻油迴路的極輕量化結構,極適合整合進移動式抽氣機組或分析儀器中。

  •  

    360度全方位自由架設彈性

    不論是垂直向上、水平橫向或倒置懸掛,TG-F 系列油脂式分子幫浦均支援 360 度任意傾斜角度安裝。為空間極度受限的科研設備機箱(如電子顯微鏡系統)提供完美的布局彈性。

  •  

    高性價比的超高真空整合解決方案

    當吸氣口法蘭搭配金屬密封刀口 CF 法蘭(ConFlat Flange)並進行機身烘烤脫氣後,極限壓力可穩定達到超高真空(< 10⁻⁸ Pa)等級。以極具競爭力的購置與保養維護成本,提供媲美磁浮機型的極淨超高真空表現。

真空介面選型對照 (Interface Standards)

JIS / VG 法蘭
台灣與日本機台最通用之 O-Ring 密封
ISO 國際法蘭
ISO-K / ISO-F 歐美主流高真空系統介面
CF 刀口金屬法蘭
科研儀器 UHV(超高真空)必備介面

緊湊型移動式抽氣機組整合 (ST-Compact)

大阪真空提供以 TG-F 系列油脂幫浦為核心的 **ST-Compact 複合式移動抽氣站一體機**。直接於底座整合隔膜式乾式排氣幫浦(Diaphragm pump)或直結式油迴轉幫浦,打造即插即用、手提式高機動性的實驗室高真空源。

TG-F 系列精密陶珠軸承分子幫浦產品型號命名解碼

TG [排氣能力容量代碼] F [吸氣口法蘭型式與尺寸編號]

請參考下方結構化選型定義,用以解碼或配置最符合您標準真空腔體、檢測分析設備的最適部件:

抽速容量規格

TG70F: 額定氮氣抽速 47~53 L/s
TG200F / TG220F: 抽氣速率 200~220 L/s
TG550F: 中大排速容量 550 L/s
TG2400F: 工業級超高大抽速 2400 L/s

吸氣口法蘭規格

VG / VG-F: 日本工業規格橡膠圈密封法蘭接口
ISO / ISO-K: 國際標準雙爪緊固式高真空法蘭介面
CF (ConFlat): 超高真空(UHV)金屬墊片刀口型特殊 Flange

冷卻配置代碼

N (Forced Air Cooling): 精巧機身專用強制氣冷型自冷冷卻風扇
W (Water Cooling): 高熱負載/連續大製程吞吐量專用水冷迴路

技術規格矩陣表 (Technical Specification Matrix)

精密陶珠軸承型分子幫浦核心參數 TG70F TG200F TG220F TG550F
氮氣抽氣速率 (Pumping Speed - N2) 47 L/s 200 L/s 220 L/s 550 L/s
氫氣抽氣速率 (Pumping Speed - H2) 35 L/s 110 L/s 110 L/s 350 L/s
吸氣口法蘭型式與尺寸 (Inlet Flange Options) VG40 / ISO63 / CF70 VG100 / ISO100 CF152 Only VG150 / ISO160 / CF203
排氣口法蘭標準 (Foreline Flange) KF16 KF16 / KF25 KF16 / KF25 KF25 / KF40
極限壓力 - 標準橡膠圈密封 (Ultimate Pressure) < 10⁻⁵ Pa (VG/ISO) < 10⁻⁵ Pa (VG/ISO) < 10⁻⁵ Pa (VG/ISO)
極限壓力 - 金屬無油脫氣密封 (UHV Type) < 10⁻⁸ Pa (CF法蘭) < 10⁻⁸ Pa (CF法蘭) < 10⁻⁸ Pa (CF法蘭)
額定運轉最高轉速 (Rotational Speed) 72,000 rpm 45,000 rpm 45,000 rpm 33,000 rpm
定速加速起動時間 (Startup Time) ≤ 1.5 分鐘 ≤ 4.0 分鐘 ≤ 4.0 分鐘 ≤ 5.0 分鐘
容許架設安裝角度 (Mounting Orientation) 360度任意角度自由架設 360度任意角度自由架設 360度任意角度自由架設 360度任意角度自由架設

* 備註:TG-F 全系列油脂機型底座均內建精準控溫熱敏電阻(Thermistor)傳感器,具備過載、過熱數位診斷防護防禦連鎖線路。

高性價比目標真空應用領域

表面物理與材料分析分析儀器 (XPS / AES / SIMS) 電子顯微鏡高真空腔體系統 (SEM / TEM) 高精密大眾質譜儀氣體偵測 (Mass Spectrometer) 精密真空熱處理與真空高溫爐線 半導體後段封裝與一般排氣輔助系統 高機動性研究室便攜式手提抽氣機組 (Portable Pumping Unit) 大專院校實驗室基礎真空物理教學與 R&D 高真空鍍膜與真空隔熱層隔絕製程

技術支援與在地化服務

九德松益(Cutes Corp)自1998年起,為日本大阪真空(OSAKA VACUUM, LTD)渦輪分子幫浦之臺灣總代理與原廠授權維修服務據點,深耕臺灣。

結合九德松益逾半世紀在台灣工業真空領域的厚實根基,與日本大阪真空(Osaka Vacuum)享譽國際的高端接觸式陶珠軸承設計與精密長效 Grease 潤滑配方,我們專為科學檢測儀器、真空腔體與實驗室提供最經濟高效、穩定高剛性的高真空配置。臺灣本地技術常設原廠維修據點與工程團隊,提供極速、原廠級規格的陶珠軸承清洗更換、動平衡校正(Balancing)與防禦維護(PM),常備原廠零件封裝油脂,為廠端研發與分析製程產線帶來最高時效、零時差的信賴售後保障。

精巧型抽氣站系統整合
可靈活模組化搭配無油乾式排氣幫浦(Dry pump),打造完全無油油氣污染、隨推即用且高機動性的攜帶式高真空系統。
高適應性精簡布局
免去磁浮控制器調校及冷卻油複雜管線,控制箱外觀體積精簡極小化,顯著降低系統初期的資本購置與日後耗材支出。