產品介紹
小型螺旋式 乾式真空泵
空冷規格
氣鎮
無油
初期排氣時間短
成本低
小型
節能
DSP 系列
小型螺旋式
乾式真空泵
本產品配有兩根平行的螺旋型轉子，採用無同步齒輪結構，實現完全無油與免維修設計；不僅搭載小型增壓泵帶來 0.5 Pa 的極限壓力表現，更具備原廠日本大阪真空
(Osaka Vacuum) 維修等級的完善技術支援，確保設備長效妥善率。
主要特點
日本大阪真空原廠維修等級
除了卓越的產品性能，我們更提供符合日本大阪真空 (Osaka Vacuum) 原廠標準的最高等級維修與技術支援，確保製程設備零停機風險，延長使用壽命。
便攜型輕量設計
機身小型、輕量化且易於搬運，抗外部干擾能力強。透過無定時齒輪結構設計，大幅減輕整體重量，提升空間利用率。
低噪音與低震動
轉子組件省略了同步齒輪的設置，實現無噪音排氣，並配備專屬隔音罩。螺旋型轉子設計更能有效防止排氣脈衝，降低震動。
完全無油潔淨排氣
透過無定時齒輪結構，實現無需潤滑油的設計。徹底杜絕油蒸氣和粒子的逆流，確保製程排氣的絕對潔淨。
空冷型高實用性
採用風冷設計，僅需電力供應，完全無需冷卻水配置。同時標配氣體旁通機構 (氣鎮功能)，提升設備的環境適應力。
高速排氣性能
內置旁通系統 (Bypass System)，在大氣壓附近即可展現極快的排氣速度，有效縮短真空抽氣時間，並達到高效節能表現。
規格與應用領域
| 產品型號 | DSP251 / DSP501 |
|---|---|
| 吸氣口口徑 | DSP251: KF25 / DSP501: KF40 |
| 排氣口口徑 | KF25 |
| 排氣速度 (無氣鎮) | DSP251: 230 L/min / DSP501: 500 L/min |
| 極限壓力 | 0.5 Pa (無氣鎮) / 2 Pa (有氣鎮) |
| 電源供應 | 單相 AC100-230V (±10%) |
| 冷卻方式 | 風冷 (無需冷卻水) |
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半導體與電子零件產業 廣泛應用於掃描電子顯微鏡 (SEM)、光刻技術以及電子槍 (EB-Gun) 的真空排氣製程。
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理化學機器與分析設備 適用於各類精密分析儀器、加速器及離子源等高端科研設備的真空環境建立。
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醫療設備與藥品研發 滿足高潔淨度要求，適用於醫療器材與醫藥品研究開發 (R&D) 的無油真空需求。
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一般產業與自動化搬送 適合用於自動化裝載室 (Load Lock) 及搬送室的高速排氣，亦涵蓋 PVD 及廣泛的一般工業用途。
工程解決方案
原廠級維護與低營運成本
傳統真空泵需要定期添加與更換潤滑油。DSP 系列不僅透過無同步齒輪設計實現完全無油與免維修（無需更換軸封），我們更具備日本大阪真空原廠等級的維修能力，為您提供無後顧之憂的設備保障，大幅降低長期維運成本與停機時間。
無冷卻水的高效能運作
針對許多廠務環境缺乏冷卻水管線的痛點，本設備採用空冷型設計，僅需供應電力即可穩定運行。結合其內置的旁通系統，在大氣壓附近即能維持極快的排氣速度，兼顧了部署靈活性與高效節能的雙重優勢。
標準與選購配件
標準配件
- AC100V 用輸出電纜 (含接地插頭 3m)
- 控制信號接口 (D-sub 15 母針)
- 氣鎮功能 (Gas Ballast，避免水蒸氣凝結)
- 中文版使用說明書
為了在真空泵使用後防止水蒸氣凝結，建議善用氣鎮功能導入乾燥空氣或氮氣。
選購配件
- 吸濾器 (對應 KF25 或 KF40)
- AC200V 用輸出電纜
- 排氣口消音器
- 固定真空泵專用工具
品質與認證
常見問題 (FAQ)
設備發生異常時，是否需要送回日本原廠維修？
不需要。我們具備「日本大阪真空 (Osaka Vacuum) 原廠維修等級」的專業技術與設備，能直接在本地為您提供符合原廠最高標準的檢測、維修與保養服務，大幅節省跨國運送的時間與成本。
此設備需要定期更換潤滑油嗎？
不需要。由於轉子組件省略了同步齒輪的設置，DSP 系列採用無定時齒輪結構，實現了完全無需潤滑油的設計。這代表設備本身即具備極低的維護需求。