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製品説明

TGkineシリーズ(磁気浮上一体型コントロールユニットタイプ)

TGkineシリーズ(磁気浮上一体型コントロールユニットタイプ)

TGkine
TGkine1700M〜TGkine4200M
◆コントローラと電源はポンプに統合されています。
◆相互接続ケーブル/ケーブルダクトの必要はなく、ラックの設置も必要ありません。これにより、設置が簡単になり、システムコストを節約できます。
◆さまざまな真空プロセスに適した優れたバランス性能。
◆大気圧と直列に接続された補助ポンプを同時に始動できるため、初期ポンプのダウンタイムが短縮されます。
◆Eエッチングプロセスの特許取得済みの設計。
◆リアルタイムの可変速度制御(110 rps-450 rps)。