TGkineシリーズ（磁気浮上一体型コントロールユニットタイプ）

：TGkine

：TGkine1700M〜TGkine4200M

◆コントローラと電源はポンプに統合されています。
◆相互接続ケーブル/ケーブルダクトの必要はなく、ラックの設置も必要ありません。これにより、設置が簡単になり、システムコストを節約できます。
◆さまざまな真空プロセスに適した優れたバランス性能。
◆大気圧と直列に接続された補助ポンプを同時に始動できるため、初期ポンプのダウンタイムが短縮されます。
◆Eエッチングプロセスの特許取得済みの設計。
◆リアルタイムの可変速度制御（110 rps-450 rps）。