製品説明
TG-Fシリーズ（グリース潤滑玉軸受タイプ）
。当社独自のベアリング構造は、突入電流による急激な圧力サージに強く耐えます。
。クイックスタートアップ。
。グリースの補充は不要です。
TG-Fシリーズ · グリース潤滑仕様ターボ分子ポンプ
TG-F 50F ~ 2400F
高精度セラミック軸受ターボ分子ポンプ
高性能セラミックボールベアリングと先進のグリース潤滑技術を採用し、予期せぬ大気突入（大気リーク）への優れた機械的耐性と超高速立ち上げを実現。工場出荷時に密閉されたグリースにより、現場での再潤滑が不要。分析装置、表面科学、標準的な半導体製造装置に最適です。
性能概要
TG-F セラミック軸受の主なメリット
主な技術特長
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高剛性セラミック軸受と優れた耐大気突入性
ロータ軸受部には超高精度セラミックボールベアリングを採用。従来の液体潤滑ベアリングに比べ、優れた構造剛性と強固な耐衝撃性を備えており、不慮の真空リークや突発的な大気突入時にも内部部品の致命的な破損を防ぎます。
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補給不要の密閉型グリース潤滑システム
大阪真空独自の密閉型グリース技術により、定期的な潤滑油の補充やオイルレベルの管理を行うことなく、スムーズな運転を維持します。これにより、予防保全（PM）の間隔を大幅に延長し、人件費の削減と装置のダウンタイム短縮に貢献します。
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超高速立ち上げ性能とコンパクトな設計
低い回転慣性と優れた熱バランスにより、定格回転数への極めて迅速な立ち上げを実現（小型モデルではわずか1.5分で加速完了）。オイル配管のないシンプルな構造は、移動式ポンプユニットや分析装置への組み込みに最適です。
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360度自在の全方向取付フランジ
垂直、水平、倒立など、あらゆる姿勢での取付に対応。電子顕微鏡の鏡筒など、スペースが極めて制限された装置ハウジング内でも自由度の高いレイアウトを可能にします。
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コストパフォーマンスに優れた超高真空（UHV）対応
エッジシール付き金属ガスケットCFフランジ（コンフラットフランジ）を採用し、適切なシステムベーキングを行うことで、UHV領域（< 10⁻⁸ Pa）の安定した到達圧力を確実に実現。磁気軸受クラスのクリーン真空を、極めて競争力のある初期投資費用で提供します。
真空配管インターフェース規格
小型移動式排気システム（ST-Compact）への統合
大阪真空は、TG-Fグリースターボ分子ポンプを搭載した**「ST-Compactシリーズ」ターンキー排気ユニット**を提供しています。省スペースなコンパクトシャーシに、ドライダイヤフラムポンプまたは油回転真空ポンプを一体化。研究室向けにプラグアンドプレイで利用可能な、ポータブル超高真空源を提供します。
TG-Fシリーズ セラミック軸受モデル型式選定ガイド
TG [排気速度容量コード] F [吸気口フランジコード] [冷却仕様]
以下の型式構成をご確認いただき、チャンバーや分析装置のレイアウトに最適な仕様をお選びください：
TG70F： N2定格排気速度 47~53 L/s
TG200F / TG220F： 排気速度範囲 200~220 L/s
TG550F： 中～大排気容量モデル 550 L/s
TG2400F： 大型産業用高流量モデル 2400 L/s
VG / VG-F： 日本国内の標準的なエラストマーOリングシールインターフェース
ISO / ISO-K： ダブルクロークランプまたはボルト留め高真空接続
CF (ConFlat)： 金属シールによる超高真空（UHV）対応仕様
N (強制空冷)： 本体に強制空冷ファンを装備したコンパクト仕様
W (水冷)： 高熱負荷運転や大量ガス排気に適した水冷ジャケット仕様
技術仕様マトリクス
| セラミック軸受ポンプ技術パラメータ | TG70F | TG200F | TG220F | TG550F |
|---|---|---|---|---|
| 排気速度 - N2 (体積流量) | 47 L/s | 200 L/s | 220 L/s | 550 L/s |
| 排気速度 - H2 (体積流量) | 35 L/s | 110 L/s | 110 L/s | 350 L/s |
| 吸気口フランジ構成 | VG40 / ISO63 / CF70 | VG100 / ISO100 | CF152 専用 | VG150 / ISO160 / CF203 |
| 補助ポンプ口フランジ（背圧側）規格 | KF16 | KF16 / KF25 | KF16 / KF25 | KF25 / KF40 |
| 到達圧力 - エラストマー Oリングシール | < 10⁻⁵ Pa (VG/ISO) | < 10⁻⁵ Pa (VG/ISO) | — | < 10⁻⁵ Pa (VG/ISO) |
| 到達圧力 - メタルガスケットシール (UHV対応) | < 10⁻⁸ Pa (CFフランジ) | — | < 10⁻⁸ Pa (CFフランジ) | < 10⁻⁸ Pa (CFフランジ) |
| 定格回転数 | 72,000 rpm | 45,000 rpm | 45,000 rpm | 33,000 rpm |
| 加速立ち上げ時間 | ≤ 1.5 min | ≤ 4.0 min | ≤ 4.0 min | ≤ 5.0 min |
| 取付姿勢自由度 | 360度全方向自在取付 | 360度全方向自在取付 | 360度全方向自在取付 | 360度全方向自在取付 |
* 注：TG-Fシリーズのすべてのポンプは、ベースアセンブリにサーミスタセンサーを内蔵しており、リアルタイムの温度監視とデジタル熱過負荷インターロック制御に対応しています。
主な真空適用分野＆産業用途
テクニカルサポート＆国内オーバーホール・修理サービス
九德松益（Cutes Corp）は1998年以来、台湾における株式会社大阪真空機器製作所のターボ分子ポンプ正規総代理店および認定サービスセンターとして邁進してまいりました。
台湾全土で半世紀以上にわたり産業用真空技術を培ってきた九德松益（Cutes Corp）の基盤と、大阪真空が世界に誇る接触型セラミック軸受技術および独自開発グリース処方を融合させることで、極めて堅牢で経済的な真空ソリューションを提供いたします。台湾国内の正規認定サービスセンターには、ベアリング交換、マイクロレベルの動バランス調整校正、および徹底した予防保全（PM）を行うための専用検査・修理設備を完備。メーカー純正部品と専用グリースを常時在庫し、お客様の研究室や工場の安定稼働をバックアップする「迅速・確実な」テクニカルサービスを提供いたします。
クリーンなドライダイヤフラムポンプを補助ポンプとして組み合わせることで、炭化水素（油分）フリーのポータブルな卓上型高真空ワークステーションを構築可能です。
大型の外部コントローララックや複雑なオイル冷却ラインを排除し、設置スペース（フットプリント）を大幅に削減。初期投資（CapEx）だけでなく将来の運用コスト（OpEx）の低減を実現します。