製品説明
TG-Mシリーズ（磁気サスペンションタイプ）
潤滑剤は使用しないでください。半導体や表面分析など、純粋な真空が必要な領域に適しています。
◆ 磁気軸受を使用すると、軸受の摩耗を防ぎ、オイルやグリースの注入などの定期的なメンテナンスを回避できます。
◆ 回転数制御は各工程に対応しています。
アプリケーションに合わせて、さまざまな特殊仕様から選択できます。
（副産物、超低振動、超高真空、放射線防護）
TG-M シリーズ · 磁気軸受式複合分子ポンプ (Magnetically Levitated Compound Molecular Pumps)
TG-M 390M～2400M
半導体プロセス用全磁気軸受式真空ポンプ
高度な5軸制御デジタル磁気軸受技術を採用し、100%完全オイルフリーの超クリーンな真空環境を実現。大気突入に対する高い耐久構造とデジタルインターロック自己診断機能を備え、半導体前工程のリソグラフィ、エッチング、薄膜成膜装置に最適なコアコンポーネントです。
性能指標概観 (Performance Overview)
TG-M シリーズのモジュールメリット
主な技術的特長 (Key Technical Features)
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100% オイルフリーの超クリーン真空環境
磁気浮上ローター内部には潤滑油を一切使用していません。プロセスチャンバーへの油分子の逆流リスクを完全に排除するため、クリーンな真空環境が厳格に要求される半導体前工程や高精細パネル製造ラインに最適です。
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プロセスに応じたリアルタイム回転速度制御
システムの回転速度を個々のプロセス条件に合わせてダイレクトに制御可能。チャンバーの排気段階や反応ガスの導入ステップに応じて回転数を動的に最適化し、安定した圧力制御と高いプロセス品質を維持します。
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過酷な環境に対応する豊富な特殊仕様展開
多様な特殊プロセスや極限環境向けに、最適な特殊仕様をラインアップ：副生成物の凝縮を防ぐ反応性エッチング仕様、極低振動仕様 (UFRC)、超高真空仕様、および加速器・物理研究用の耐放射線仕様から選択可能です。
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大気突入事故に対する強酷な耐久性
特許取得済みの強化ブレード構造を採用。真空システムで発生しやすい「予期せぬ大気突入（Air Inrush）」に対して優れた機械的剛性を発揮し、ブレード破損によるライン停止リスクを大幅に低減します。
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アクティブ振動低減技術 UFRC 搭載
独自開発の UFRC (Unbalance Force Rejection Control) 技術を導入。ローターの微小な動不平衡（アンバランス）をリアルタイムに検知し、磁気軸受の制御力で相殺することで、極限まで振動を抑えた走行を実現します。
特殊プロセス仕様選定 (Special Executions)
予防保全警告機能 (Maintenance Call)
システムコントローラには、高度なメンテナンス予告警告機能を搭載。構成部品の寿命や消耗によるトラブルが発生する前に予兆を検知して通知するため、計画計画的なPM（定期保全）での対応が可能となり、突発的な稼働停止損失を防ぎます。
TG-M シリーズ複合分子ポンプ 型式コード解読
TG [排気速度容量] M [吸気口フランジ規格] [特殊仕様コード]
お客様の装置仕様や真空チャンバーのプロセス要件に適合する、最適な磁気軸受コンポーネントの構成をご確認ください：
TG390M: 排気速度 340 L/s
TG1100M: 排気速度 1100 L/s
TG1300M: 排気速度 1300 L/s
TG2400M: 高スループット大容量 2400 L/s
VG / VG-F: 日本産業規格（JIS）規格真空フランジ接続
ISO / ISO-F: 国際標準ボルト締め／クランプ式フランジ規格
CF (ConFlat): 超高真空（UHV）対応メタルシール・ナイフエッジフランジ
B (By-product resistant): 特許取得の反応副生成物堆積防止仕様
V (Ultra-low vibration): UFRC アクティブ低振動制御仕様
R (Radiation-hardened): 先端物理・核融合研究用 耐放射線仕様
技術仕様マトリクス表 (Technical Specification Matrix)
| 磁気軸受式複合分子ポンプ主要パラメータ | TG390M | TG1100M | TG1300M | TG2400M |
|---|---|---|---|---|
| 窒素排気速度 (Pumping Speed - N2) | 340 L/s | 1100 L/s | 1300 L/s | 2400 L/s |
| 水素排気速度 (Pumping Speed - H2) | 220 L/s | 780 L/s | 860 L/s | 1700 L/s |
| 吸気口フランジ適合 (Inlet Flange Options) | VG150 / ISO160 / CF203 | VG200 / ISO200 / CF253 | VG250 / ISO250 / CF305 | VG300 / ISO300 |
| 到達圧力 - 標準仕様 (Ultimate Pressure) | < 10⁻⁷ Pa (CFフランジ) | < 10⁻⁷ Pa (CFフランジ) | < 10⁻⁷ Pa (CFフランジ) | < 10⁻⁶ Pa (VG/ISOフランジ) |
| 到達圧力 - 超高真空仕様 (UHV Type) | < 10⁻⁸ Pa (CF専用モデル) | < 10⁻⁸ Pa (CF専用モデル) | < 10⁻⁸ Pa (CF専用モデル) | — |
| 最大許容背圧 (Max Backing Pressure) | 350 Pa | 270 Pa | 220 Pa | 200 Pa |
| 軸受浮上制御方式 (Bearings System) | 5軸アクティブ制御デジタル磁気軸受 | 5軸アクティブ制御デジタル磁気軸受 | 5軸アクティブ制御デジタル磁気軸受 | 5軸アクティブ制御デジタル磁気軸受 |
| 取付方向許容角度 (Mounting Orientation) | 360度あらゆる方向で取付可能 | 360度あらゆる方向で取付可能 | 360度あらゆる方向で取付可能 | 360度あらゆる方向で取付可能 |
/* 備考：全モデルに RS232C シリアルインターフェースを標準装備（RS485はオプション対応）。全シリーズで共通のデジタルコントローラを適用可能であり、自動センサー校正技術が内蔵されています。 */
高クリーン・高真空ターゲットプロセス
テクニカルサポートと現地化修理拠点
九德松益 (Cutes Corp) は1998年より、株式会社大阪真空 (OSAKA VACUUM, LTD.) ターボ分子ポンプの台湾における正規総代理店および原廠公認修理サービス拠点として、台湾市場に深く根ざしてきました。
半世紀以上にわたり台湾の産業真空分野で培われた九德松益の強固な事業基盤と、世界的な信頼を誇る大阪真空の最先端 TG-M 全磁気軸受制御技術が完璧に融合。お客様の製造装置や研究機関に最適な高真空配管システムの精密な構築・制振シミュレーション・選定だけでなく、台湾国内に正規修理・オーバーホールセンターおよび専任の原廠エンジニアチームを常設しております。迅速かつ原廠規格に準拠したオイルフリーポンプの点検、予防保全（PM）、および交換部品のオンタイムな国内在庫サポート体制により、半導体ファブや最先端の科学研究ラインに最も信頼性の高い在地バックアップを提供します。
従来の機種限定制限を打破。全シリーズで同一のデジタルコントロールユニットを共通適用でき、自動校正技術を搭載しているため、予備品管理コストを大幅に低減します。
大阪真空独自の Unbalance Force Rejection Control アルゴリズムにより、回転に起因する動的不平衡振動を極微小レベルまでアクティブに排除。最先端の露光・計測評価ツールへのシームレスな対接を可能にします。