製品説明
ドライ真空ポンプ 空冷式シリーズ
FR シリーズ · 空冷式ドライ真空ポンプ (Air Cooled Dry Vacuum Pumps)
FR060D / FR060D-2
優れた排気性能と低消費電力の完璧な融合
冷却水を一切必要としない高効率な完全空冷設計を採用し、大気圧下での卓越した連続運転能力を実現しました。高い水蒸気処理能力とコンパクトな筐体設計により、チャンバーの排気時間を大幅に短縮。一般真空、乾燥プロセス、および各種高真空排気システムの粗引き・前段ポンプ用途に最適です。
性能指標概観 (Performance Overview)
FR060D ドライ排気モジュールの強み
コア技術の優位性 (Key Technical Features)
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大気圧連続運転とリニアな排気速度性能
FR060D は、従来のドライポンプが抱えていた極限圧力と大気圧粗引きの間の制約を克服しました。大気圧付近の高負荷環境でも 800 L/min の優れた排気速度を維持し、システム立ち上げの初期段階から高い機械的効率と迅速な真空確立を実現します。
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高水蒸気プロセスに対応する先進のガスバラスト技術
大量の水分や凝縮性ガスを伴う、湿度を帯びた乾燥プロセス向けに専用設計・最適化されています。内蔵のガスバラスト弁を開くことで、最大 500 g/hr の水蒸気処理に対応。ポンプ内部での結露や液化蓄積を防ぎ、長期にわたる耐久性を保証します。
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冷却水設備を一切必要としない（空冷式）極簡構成
メーカー最適化済みの特殊強制空冷ハウジング構造を採用。運転中の冷却は内蔵された高剛性ファンと方向制御された気流のみに依存します。これにより、工場側での高価なチラー設備や循環冷却水配管の布設が不要となり、水垢詰まりや水漏れによるダウンタイムリスクを完全に排除します。
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大幅な軽量・コンパクト化と容易な点検窓配置
一体感のあるスマートでコンパクトな本体系設計に加え、下部に頑丈な移動用キャスターとレベリングフットを標準装備。底部および側面には、直観的に確認できるオイルレベルゲージ（Oil Level Gauge）と保護キャップを配置し、定期点検（PM）の工数を大幅に削減します。
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デジタル通信の標準内蔵と充実したハードウェアインターロック
FR060D ドライポンプ全機種に工業用 D-sub 15Pin 制御信号コネクタを標準装備。リモートでの起動・停止コマンドやステータスインターロック（安全連鎖線路）を、メイン装置の PLC システムへ容易に統合可能です。フロントパネルにはサーキットプロテクタも内蔵し、電気的保護も万全です。
安全および設置空間規定 (Installation Standards)
周辺換気・散熱に関する安全上のご注意
冷却水なしの状態での長期連続運転において、ポンプの性能を最大限に発揮させるため、設置時には機体周囲に十分な換気・散熱対流スペースを確保してください。通風孔を塞がないようご注意ください。製品の全寿命期間における安全運転のため、ご使用前に必ず取扱説明書をよくお読みください。
FR060D ドライ真空ポンプシリーズ 型式ネーミング解読
FR060D [電源相数および制御仕様コード]
お客様のファシリティ環境（工場電源レイアウト）および装置自動化インターフェースに最適なモデルを以下の定義よりご確認ください：
標準型： 三相交流（3 Phase）、対応電圧 200–240V。工業級の連続高負荷運転において、優れた電力グリッド負荷バランスを発揮します。
単相型： 単相交流（1 Phase）、対応電圧 200–240V。三相電源のない実験室、モバイル分析カート、またはポータブルシステムへの統合に最適です。
D-sub 15Pin： シリーズ全機種共通。遠隔制御信号、サーキットプロテクタ（Circuit Protector）、および大気リーク弁制御を統合しています。
技術仕様マトリクス表 (Technical Specification Matrix)
| 空冷式ドライ真空ポンプ主要パラメータ | FR060D (三相仕様) | FR060D-2 (単相仕様) |
|---|---|---|
| 最大排気速度 (Volume Flow Rate - Max) | 1,000 L/min | 1,000 L/min |
| 大気圧下排気速度 (Volume Flow Rate - Atmospheric Open) | 800 L/min | 800 L/min |
| 到達極限圧力 - ガスバラスト弁閉 (Base Pressure - Gas Ballast OFF) | 1.0 Pa | 1.0 Pa |
| 到達極限圧力 - ガスバラスト弁開 (Base Pressure - Gas Ballast ON) | 2.0 Pa | 2.0 Pa |
| 吸気口 / 排気口フランジ規格 (Inlet / Outlet Connection) | KF40 / KF40 | KF40 / KF40 |
| 極限圧力時消費電力 / 最大消費電力 (Approx. Power kW) | 1.1 kW / 1.3 kW | 1.1 kW / 1.3 kW |
| 定格電流値 (Current Rating A) | 6.5 A | 11.1 A |
| 最大許容水蒸気量 (Maximum Water Vapor Tolerance) | 500 g/h | 500 g/h |
| 最高許容吸気圧力 (Maximum Inlet Pressure) | 大気圧 (Atmospheric) | 大気圧 (Atmospheric) |
| 内部潤滑油充填量 (Lubrication Oil Quantity) | 90 mL | 90 mL |
| ポンプ本体概略質量 (Approx. Weight) | 90 kg | 75 kg |
| 入力電源電圧規格 (Inlet Voltage 50/60 Hz) | 3 Phase, 200–240V | 1 Phase, 200–240V |
| 許容周囲環境温度 (Ambient Temperature) | 5 – 40 °C | 5 – 40 °C |
| 遠隔制御インターフェース (Control Signal Interface) | D-sub 15Pin | D-sub 15Pin |
* 備考：仕様表中の ±10% 電圧変動率は過渡的な許容閾値であり、長期的な定常運転における連続入力電圧を指すものではありません。
幅広い分野に対応する真空アプリケーション一覧
技術サポートと地域密着型保守サービス
九德松益（Cutes Corp）は1998年以来、日本「株式会社大阪真空機器製作所（OSAKA VACUUM, LTD）」の台湾における総代理店および原廠認定保守サービス拠点として、台湾市場に深く根ざしてきました。
産業用真空工学における九德松益の半世紀にわたる厚い技術的基盤と、世界的な評価を受ける大阪真空の先端的なドライポンプ排気幾何構造・高効率強制空冷設計を組み合わせることで、水分を多く含むプロセスや真空チャンバー、半導体製造ライン向けに、冷却水不要でクリーンな高真空バックプレッシャーソリューションを提供しています。台湾現地のサービスデポには原廠研修を受けた専門エンジニアチームが常駐し、迅速かつ原廠仕様に準拠した精密分解洗浄、ベアリング交換、動バランス校正（Dynamic Balancing）、予防保守（PM）に対応。原廠部品や専用グリースを豊富に常備し、研究開発から量産ラインまでダウンタイムのない確かなアフターサービスを保障いたします。
排気流路内に油や炭化水素系流体が一切存在しないため、プロセス側への油の逆流（バックストリーミング）を完全に防ぎ、きわめてクリーンなチャンバー環境を維持します。
工場の冷却水ネットワーク構築や水垢詰まりの監視にかかるコストをカット。制御系と筐体のスリム化により、設備初期費用（CAPEX）およびランニングコスト（TCO）を劇的に低減します。