製品説明
DSPシリーズ 小型スクリュー型 ドライ真空ポンプ
空冷仕様
ガスバラスト
オイルフリー
高速ポンプダウン
低コスト
コンパクトサイズ
省エネルギー
DSPシリーズ
小型スクリュー型
ドライ真空ポンプ
本製品は、2本の平行なスクリューローターが、ハウジング内壁および互いの微小な隙間を保ちながら回転し、気体を軸方向に連続搬送・圧縮・排気する構造です。タイミングギアを排除した構造により、潤滑油を必要としない完全なオイルフリー設計を実現。さらに小型ブースターを搭載し、0.5Paの極限圧力を達成しています。また、大阪真空（Osaka Vacuum）の純正工場レベルのメンテナンス体制を完備しており、長期にわたり安定した稼働を保証します。
主な特徴
大阪真空 純正工場レベルのメンテナンス
優れた製品性能に加え、大阪真空（Osaka Vacuum）の純正工場標準に準拠した最高レベルの修理および技術サポートを提供します。プロセス機器のダウンタイムリスクを最小化し、装置の長寿命化を実現します。
ポータブル・軽量設計
小型・軽量で移動が容易、かつ外乱にも強い設計です。タイミングギアレス構造により大幅な軽量化を達成し、設置スペースの有効活用を可能にします。
低騒音・低振動
タイミングギアを排除した構造により、機械的な排気音を低減。防音カバーも標準装備しています。スクリュー型ローター設計により、排気脈動を防ぎ振動を抑制します。
100% オイルフリー・クリーン排気
ギアレス構造により、潤滑油を一切使用しない設計です。油蒸気やパーティクルの逆流を完全に防止し、排気プロセスの清浄度を維持します。
空冷式による高い利便性
空冷タイプのため電力のみで稼働し、冷却水供給設備は不要です。ガスバラスト機構を標準装備しており、様々な設置環境に対応可能です。
高速ポンプダウン性能
バイパスシステムを内蔵し、大気圧付近での排気速度を向上。真空到達時間を短縮し、優れた省エネ性能を発揮します。
仕様および応用分野
| 製品型式 | DSP251 / DSP501 |
|---|---|
| 吸気口サイズ | DSP251: KF25 / DSP501: KF40 |
| 排気口サイズ | KF25 |
| 排気速度 (ガスバラスト無) | DSP251: 230 L/min / DSP501: 500 L/min |
| 到達圧力 | 0.5 Pa (ガスバラスト無) / 2 Pa (ガスバラスト有) |
| 電源 | 単相 AC100-230V (±10%) |
| 冷却方式 | 空冷式 (冷却水不要) |
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半導体・電子部品産業 走査電子顕微鏡 (SEM)、リソグラフィ装置、電子銃 (EB-Gun) などの真空排気プロセスに幅広く対応します。
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理化学機器・分析装置 各種精密分析機器、加速器、イオン源など、高度な研究用機器の真空環境構築に最適です。
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医療機器・医薬品開発 高い清浄度が求められる医療機器や、医薬品の研究開発 (R&D) におけるオイルフリー真空ニーズを満たします。
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一般産業・自動搬送システム 自動搬送ロードロック室や搬送室の高速排気に適しており、PVD等の一般産業用途にも適応します。
エンジニアリングソリューション
純正レベルのメンテナンスと低ランニングコスト
従来の真空ポンプでは定期的なオイル交換が必要です。DSPシリーズは、タイミングギアを省いた構造により、潤滑油不要かつメンテナンスフリー（軸封交換不要）を実現しました。さらに、大阪真空純正工場レベルのメンテナンス技術を完備しており、お客様の装置のダウンタイムを最小限に抑え、長期的な運営コスト削減を強力にサポートします。
冷却水不要・高効率稼働
冷却配管の設置が困難な環境でも、空冷式のため電力供給のみで安定稼働が可能です。バイパスシステムの採用により大気圧付近から高速排気を行い、現場のレイアウト柔軟性と省エネルギー性の両立を実現します。
標準仕様およびオプション
標準付属品
- AC100V用電源ケーブル (アース付プラグ 3m)
- 制御信号用コネクタ (D-sub 15ピン メス)
- ガスバラスト機構 (水蒸気凝縮防止)
- 取扱説明書 (中国語版)
装置使用後の水蒸気凝縮を防ぐため、ガスバラスト機構を利用した乾燥空気または窒素の導入を推奨します。
オプション
- 吸込フィルタ (KF25 または KF40対応)
- AC200V用電源ケーブル
- 排気口サイレンサー
- 真空ポンプ固定用金具
品質と認証
よくあるご質問 (FAQ)
機器に不具合が発生した場合、修理のために日本へ返送する必要がありますか？
いいえ、その必要はありません。弊社は「大阪真空（Osaka Vacuum）純正工場レベルのメンテナンス」技術と設備を完備しており、現地の拠点でメーカー標準に準拠した点検・修理・メンテナンスが可能です。これにより、海外返送にかかる時間とコストを大幅に削減できます。
この装置は定期的に潤滑油を交換する必要がありますか？
いいえ。DSPシリーズは、ローター部のタイミングギアを排除したギアレス構造を採用しており、潤滑油を一切使用しない完全オイルフリー設計です。そのため、設備そのもののメンテナンス負荷が極めて小さくなっています。
真空排気システムのアップグレードをご検討ですか？
貴社の半導体・医療機器・研究開発設備のニーズに合わせて、純正レベルの修理体制を備えた DSP シリーズ 小型スクリュー型乾式真空ポンプをご提案いたします。