Product
Turbo Molecular pump TG series(Oil Lubricated Ball Bearing Type)
TGシリーズ
油潤滑軸受型
ターボ分子ポンプ
TGシリーズは、排気速度200L/sから5500L/sまでの幅広いラインナップを取り揃えた分子ポンプです。複合構造ローターの採用により、高い耐久性と優れた排気性能を実現し、光学産業、エネルギー、自動車、および研究開発など、幅広い分野で採用されています。
主な特長
幅広い排気速度ラインナップ
TGシリーズは200L/sから5500L/sの排気速度範囲をカバーしており、小規模な研究開発設備から大規模な産業生産システムまで、最適な機種選定が可能です。
複合構造ローター設計
高度な複合式ローターを採用することで、構造剛性を大幅に強化しました。複雑なガス組成にも対応でき、高負荷運転下でも極めて高い信頼性を確保します。
耐腐食性ガス対応モデル
プロセス中に発生する腐食性ガスに対応するため、TG203からTG1813までのモデルでは、耐腐食性を強化した「耐化学ガス仕様」を提供し、機器の保護を万全にします。
優れた耐久性と耐衝撃性
高度な油潤滑軸受技術により、大気圧衝撃や外部振動に対する優れた耐性を備えています。過酷な生産環境下でも長期間の安定稼働を実現します。
多岐にわたる産業用途
その高い耐久性と高性能により、光学産業、エネルギー関連技術、自動車製造、航空宇宙産業など、最先端の工業プロセスにおいて欠かせないコンポーネントとなっています。
研究開発のスタンダード
柔軟なシステム構成と卓越した性能により、大学の研究室や開発センターにおける先進的な科学研究に最適な真空ソリューションです。
仕様と用途
| 製品シリーズ | TG 油潤滑軸受型分子ポンプ |
|---|---|
| 排気速度 | 200 ～ 5500 L/s |
| 構造設計 | 複合構造ローター |
| ガス対応 | 標準仕様 / 耐化学腐食仕様 |
| コア技術 | 油潤滑軸受システム |
| 適用環境 | 産業用高真空プロセス |
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光学産業 薄膜コーティング、光学部品製造、および精密表面処理に必要な真空環境の構築に使用されます。
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エネルギー・材料開発 核融合研究、加速器施設、先端材料製造プロセスに広く応用されています。
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自動車・航空宇宙工業 表面改質プロセスや、信頼性の高い電子部品の真空製造工程を支援します。
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科学研究・開発 (R&D) 物理・化学分野における様々な研究設備の中核となる真空源として活用されています。
機体構造図解
TGシリーズの構造上の強み
TGシリーズは特許取得済みの複合ローター構造と油潤滑軸受システムを組み合わせ、長時間の連続運転においても、非常に高い回転安定性と優れた耐震性能を維持します。
腐食対策
特定の工業プロセスにおける腐食性ガスに対し、専用のシール材と表面処理を施しています。これにより、過酷なガス環境下でも極めて長い製品寿命を確保します。
貴社の用途に最適な TG シリーズのモデル選びをサポートします
貴社の設備に必要な排気速度やガス仕様を評価し、最適な TG シリーズ真空排気ソリューションをエンジニアチームが設計いたします。