producto
Serie TG-M (tipo suspendido magnéticamente)
․Que no utilices lubricantes. Ideal para las aplicaciones en el ámbito que exige vacíos puros, pj. los semiconductores y análisis de superficies.
․Los rodamientos suspendidos están utilizados para evitar el desgaste de rodamientos,
y eliminar el mantenimiento programado, pj. la inyección de aceite o grasa.
․Control de velocidad de rotario, está correspondido con cada proceso.
․Puede escoger entre varias especificaciones especiales para que coincida con sus aplicaciones.
(Por-producto resistente, Ultra-baja vibración, Ultra-alto vacío, Radiación- endurecida)
Serie TG-M · Bomba Molecular Compuesta de Levitación Magnética (Magnetically Levitated Compound Molecular Pumps)
TG-M 390M~2400M
Bombas de Vacío de Levitación Magnética para Semiconductores
Equipada con la tecnología japonesa avanzada de suspensión magnética de cinco ejes, garantizando un entorno de vacío ultra limpio 100% libre de aceite (Oil-free). Con una estructura altamente resistente a la entrada repentina de atmósfera y protección de diagnóstico digital, es el componente clave óptimo para herramientas de litografía, grabado y deposición de películas delgadas.
Resumen de Rendimiento (Performance Overview)
Ventajas del Módulo de la Serie TG-M
Ventajas Técnicas Clave (Key Technical Features)
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Entorno de Vacío Ultra Limpio 100% Libre de Aceite
El rotor de levitación magnética opera sin necesidad de ningún lubricante líquido. Elimina por completo el riesgo de que las moléculas de aceite fluyan hacia la cámara de proceso (Chamber), lo que resulta ideal para entornos críticos que exigen máxima pureza.
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Control de Velocidad de Rotación Variable en Tiempo Real
El sistema se adapta de manera directa y dinámica a las diversas condiciones de proceso requeridas. Modifica la frecuencia de rotación de acuerdo con las etapas de evacuación o reacción de gases químicos, asegurando una estabilidad óptima de la presión.
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Especificaciones Especiales para Entornos Corrosivos y Exigentes
Osaka Vacuum ofrece personalización para aplicaciones extremas: versiones con resistencia anticorrosión a subproductos, modelos de vibración ultra baja (UFRC), configuraciones de ultra alto vacío (UHV) y modelos con endurecimiento contra radiación para física nuclear.
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Alta Tolerancia a la Entrada Repentina de Atmósfera
Equipada con un diseño de álabes reforzados y patentados, ofrece una rigidez mecánica superior ante entradas de aire accidentales (Air Inrush), reduciendo drásticamente fallas catastróficas o roturas de álabes en las líneas de producción de oblea.
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Tecnología de Rechazo Activo de Fuerzas de Desequilibrio (UFRC)
Incorpora el algoritmo exclusivo UFRC (Unbalance Force Rejection Control) que detecta en tiempo real cualquier desviación mínima en el equilibrio del rotor, compensándola mediante fuerzas magnéticas activas para lograr un funcionamiento con "cero vibraciones".
Modelos Especiales de Proceso (Special Executions)
Aviso de Mantenimiento Preventivo (Maintenance Call)
El controlador del sistema cuenta con alertas inteligentes avanzadas. Emite una advertencia previa antes de que el desgaste acumulado o el fin de la vida útil de los componentes provoquen una falla, permitiendo coordinar el mantenimiento programado con antelación.
Decodificación del Código de Modelo de la Serie TG-M
TG [Capacidad de Flujo] M [Especificación de Brida de Admisión] [Código de Ejecución Especial]
Consulte la estructura de selección técnica a continuación para configurar los componentes de levitación magnética que mejor se adapten a sus cámaras de vacío o herramientas originales:
TG390M: Velocidad de bombeo 340 L/s
TG1100M: Velocidad de bombeo 1100 L/s
TG1300M: Velocidad de bombeo 1300 L/s
TG2400M: Alto rendimiento y flujo de 2400 L/s
VG / VG-F: Conexión de brida bajo la norma industrial japonesa (JIS)
ISO / ISO-F: Bridas estándar internacionales empernadas o con mordazas
CF (ConFlat): Brida con sello metálico de filo de cuchillo para ultra alto vacío
B (By-product resistant): Resistente a la acumulación de subproductos químicos
V (Ultra-low vibration): Modelo con control de microvibración activa UFRC
R (Radiation-hardened): Modelo con alta resistencia a la radiación para entornos científicos avanzados
Matriz de Especificaciones Técnicas (Technical Specification Matrix)
| Parámetros de Bomba Compuesta de Levitación Magnética | TG390M | TG1100M | TG3100M | TG2400M |
|---|---|---|---|---|
| Velocidad de bombeo de nitrógeno (Pumping Speed - N2) | 340 L/s | 1100 L/s | 1300 L/s | 2400 L/s |
| Velocidad de bombeo de hidrógeno (Pumping Speed - H2) | 220 L/s | 780 L/s | 860 L/s | 1700 L/s |
| Estándares de bridas de admisión (Inlet Flange Options) | VG150 / ISO160 / CF203 | VG200 / ISO200 / CF253 | VG250 / ISO250 / CF305 | VG300 / ISO300 |
| Presión límite - Modelo Estándar (Ultimate Pressure) | < 10⁻⁷ Pa (Brida CF) | < 10⁻⁷ Pa (Brida CF) | < 10⁻⁷ Pa (Brida CF) | < 10⁻⁶ Pa (Bridas VG/ISO) |
| Presión límite - Modelo Ultra Alto Vacío (UHV Type) | < 10⁻⁸ Pa (Versión CF dedicada) | < 10⁻⁸ Pa (Versión CF dedicada) | < 10⁻⁸ Pa (Versión CF dedicada) | — |
| Máxima presión de respaldo tolerable (Max Backing Pressure) | 350 Pa | 270 Pa | 220 Pa | 200 Pa |
| Tecnología de rodamientos de suspensión (Bearings System) | Rodamiento magnético activo de 5 ejes controlado | Rodamiento magnético activo de 5 ejes controlado | Rodamiento magnético activo de 5 ejes controlado | Rodamiento magnético activo de 5 ejes controlado |
| Orientación de montaje permitida (Mounting Orientation) | Instalación libre omnidireccional en 360 grados | Instalación libre omnidireccional en 360 grados | Instalación libre omnidireccional en 360 grados | Instalación libre omnidireccional en 360 grados |
* Nota: Todos los modelos de la serie vienen equipados con una interfaz en serie RS232C (RS485 opcional) y son completamente compatibles con controladores digitales universales que incluyen tecnología de calibración automática.
Procesos e Industrias Objetivo de Vacío de Alta Pureza
Soporte Técnico y Servicio Localizado
Desde 1998, Cutes Corp se ha desempeñado formalmente como el distribuidor exclusivo y centro de servicio técnico autorizado en Taiwán para las bombas turbomoleculares de OSAKA VACUUM, LTD.
Combinando más de medio siglo de sólida experiencia de Cutes Corp en el campo del vacío industrial en Taiwán con la renombrada tecnología de ingeniería de vacío magnético activo de Osaka Vacuum de Japón, no solo proporcionamos la planificación de líneas de alto vacío personalizada más precisa para sus herramientas, sino que también mantenemos un centro de servicio técnico certificado por fábrica permanentemente en Taiwán. Ofrecemos mantenimiento preventivo (PM), reparaciones generales con estándares originales y un despliegue inmediato de componentes de repuesto, sirviendo como el aliado local más confiable para las plantas de semiconductores y líneas de película delgada avanzada.
Supera las restricciones tradicionales de bloqueo de modelos: toda la serie comparte el mismo tipo de caja de control digital con tecnología de sintonización automática del sensor, disminuyendo significativamente los costos de inventario de repuestos.
Algoritmo de control patentado de Osaka Vacuum (Unbalance Force Rejection Control) que mitiga las fuerzas de desequilibrio dinámico a niveles microscópicos extremos, acoplándose perfectamente con sistemas ópticos y de inspección de alta precisión.