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Osaka Vacuum
SEMICON
Taiwan 2026
Osaka Vacuum × Cutes Corp 聯合展出-半導體先進真空與散熱對策
磁浮渦輪分子泵浦 · 氣冷式多段魯氏真空泵浦 · 工業級機電方案
高稼動率 · 低 TCO · 完整在地技術支援
1998 年迄今的在地技術承諾
在高度競爭的高科技製造業,設備穩定性與售後技術量能為採購決策首要考量。Osaka Vacuum 與 Cutes Corp 攜手 28 年,為台灣半導體、光電、醫療及航太製造業提供完整技術整合方案。
Osaka Vacuum
日本真空技術領導品牌,核心願景「以領先的真空科技,賦能全球智造(Vacuum Technology Contributing to Every Industry)」。自主研發磁軸承技術,廣泛應用於半導體、顯示器、光學、能源、航太及醫療製藥等高階工業領域。
日本原廠技術 磁浮軸承自主研發 全球高階製程信賴品牌Cutes Corp
自 1998 年起為 Osaka Vacuum 台灣專屬授權代理暨官方售後維修中心。深耕台灣 28 年,本地建構完備技術支援網絡,從設備選型評估、系統建置,至定期保養與大修工程,提供零時差在地支援,大幅降低跨境維修停機風險。
官方售後維修中心 在地技術團隊 機電製造商Osaka Vacuum 先進真空泵浦系列
針對半導體製造對製程潔淨度、廠務空間利用率及長時間運轉穩定性的嚴格標準,展出以下四款核心設備。
TGkine-B
展出型號:TGkine2200M-B將控制器與電源供應器直接整合於泵浦本體,免除電纜與機架空間需求,大幅優化機台空間設計,實現空間與能源雙重節約。支援 EtherCAT 等多種工業通訊協定。
- 抽速範圍:1700–4200 L/s
- 軸承:原廠自製磁軸承,支援低速模式
- 通訊:EtherCAT 等多種工業協定
- 配置:標準型 / 抗腐蝕型
TGkine-R
獨立機架安裝控制器設計專為高度受限設備空間設計,泵浦本體內建記憶功能,可永久儲存運轉時數與著陸次數(touchdown count)。於設備大修或更換控制器時,關鍵數據完整保留,確保製程追溯性。
- 記憶功能:永久儲存運轉時數及著陸次數
- 適用場景:高度受限設備空間
- 數據保存:大修 / 更換控制器後完整保留
- 配置:標準型 / 抗腐蝕型
FR 系列
展出型號:FR 060D緊湊型氣冷乾式泵浦,採非接觸式多段對轉轉子與專利軸封設計,無冷卻水、無油氣洩漏。專為循環抽氣應用設計,連續大氣抽氣能力卓越,嚴苛環境耐受度高。
- 連續抽速:大氣壓下 800 L/min
- 水氣抽氣率:最大 500 g/hr
- 氣冷表現:1000 L/min(36 CFM)
- 特色:無油無冷卻水,絕對潔淨
TG-M 系列
展出型號:TG 1300M磁浮轉子技術提供絕對潔淨無油真空,顯著延長設備維護週期。啟動時自動校準磁軸承感測器,支援可調速功能,提供具彈性的客製化配置。
- 抽速:340–2400 L/s(標準型 / 抗腐蝕型)
- 真空品質:無油磁浮,絕對潔淨
- 智慧功能:啟動自動校準 + 可調速
- 效益:大幅延長維護週期
渦輪分子泵浦
TG-F 系列
展出型號:50F | 市場實績機型,自 1999 年上市迄今脂潤滑設計造就輕量、緊湊且具備高抗震耐受度之機身。
無安裝方向限制(Mounting orientation free),提供真空設備設計最大化靈活性,適用於可攜式設備或移動部件。
於 20,000–30,000 小時標準大修週期內無需補充潤滑脂,有效降低維護成本。
針對特殊工業應用,另提供具備磁屏蔽功能的 TG-FS 系列,可於加速器等強磁場環境中運作。
Cutes Corp 工業級動力與散熱方案
Cutes Corp 同步展出自製高可靠度機電組件,確保半導體設備之精準控制與熱管理穩定性。
AC Induction Servo Motor
專為提升工業自動化設備運作效率與定位精度所設計,提供平穩的動力輸出。適用於半導體製程設備中對運動控制精度有高要求的應用場景。
AC Single Phase External Rotor Motor Fan
緊湊型設計配置,提供強勁且穩定的設備散熱氣流,優化機台熱管理效能。適用於半導體設備機台冷卻、電控箱散熱及潔淨室空調等應用。
廣泛服務高階製造產業
Osaka Vacuum 設備與 Cutes Corp 機電方案共同服務以下高要求工業應用領域,提供高可靠度、高能效的製程環境。
誠摯邀請業界先進
蒞臨展會現場
面對半導體製程不斷挑戰物理極限,Osaka Vacuum 與 Cutes Corp 將持續以卓越的真空與機電技術,為產業升級提供堅實後盾。歡迎與我們的技術團隊深入交流,共同探討專屬的製程優化對策。