產品介紹

TGkine系列(全磁浮/電源一體式)

TGkine系列(全磁浮/電源一體式)

型號:TGkine
規格:TGkine1700M ~ TGkine4200M
控制器與電源一體化
不需要Output Cable、也不需要Rack箱放置Controller
優異的排氣性能、超高壓縮比
可與前級幫浦同時啟動、縮短排氣時間
針對蝕刻製程有專利設計
可在110~450 rps範圍內自由調整轉速