產品介紹

TG-M系列(全磁浮式)

TG-M系列(全磁浮式)

型號:TG-M
規格:TG390M~TG2400M
360度任意角度安裝
不需潤滑油、非常適合用於半導體製程等需要潔淨的真空環境
磁浮式設計、軸承不會磨耗、不需訂定保養週期
可配合製程條件控制轉速
針對特殊製程、使用環境提供特殊規格(蝕刻、極低震動、超高真空、耐放射線等)