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產品介紹

乾式泵浦

乾式泵浦

型號:Dry Vacuum Pump Air-cooled series
規格:FR060D
大氣壓下可連續運轉
可吸入水蒸氣
縮短排氣時間
空冷規格

FR 系列 · 空冷式乾式真空幫浦 (Air Cooled Dry Vacuum Pumps)

FR060D / FR060D-2
卓越排氣性能與低功耗的完美結合

採用高性能完全無需冷卻水的全空冷設計,具備極佳的大氣壓連續運轉能力。高耐受水蒸氣排除技術與精巧緊湊外觀,能大幅縮短腔體排氣時間,完美對接一般真空、乾燥製程及各類高真空排氣系統的前級應用。

日本大阪真空 臺灣官方代理・維修據點|九德松益 最大排氣速度:1,000 L/min (36 CFM) 大氣壓運轉:支援大氣壓下連續抽氣運轉 完全免水路:強效空冷系統,免除複雜冷卻水管路

效能指標總覽 (Performance Overview)

最大排氣速度
1000
L/min (36 CFM)
水蒸氣容許處理量
500
g/hr (氣鎮閥開啟狀態下)
大氣壓下抽速
800
L/min (高壓區維持定速排氣)
到達極限壓力
1.0
Pa (氣鎮閥關閉時之基準)

FR060D 乾式排氣模組優勢

高耐受大氣壓連續運轉與快速抽氣
運轉特性可在高負載大氣壓下進行不間斷連續抽氣
抽速表現大氣壓下仍具 800 L/min 高抽速,顯著縮短預抽時間
製程優化從大氣壓到高真空區段皆展現恆定且平穩的排氣曲線
冷卻系統內建高效率強迫風冷風扇,完全不需連接工廠冷卻水
零水路高水蒸氣排除與精巧緊湊機身
水氣排除具備高達 500 g/hr 的超高水蒸氣耐受與排除能力
氣鎮配置內建 Gas Ballast 氣鎮系統,有效抑止可凝性氣體凝結
空間維護精巧移動式底座設計,省去複雜管路,大幅降低佔地面積
控制整合機身標準配備 D-sub 15Pin 控制介面,輕鬆對接自動化

核心技術優勢 (Key Technical Features)

  •  

    大氣壓下連續運轉與平穩的排氣速度

    FR060D 突破傳統乾式幫浦在極限壓力與大氣壓運轉之間的限制。即便在大氣壓力的重負載環境下,亦能維持高達 800 L/min 的卓越排氣表現,協助您的系統在初始抽氣階段即可獲得極高的機械效益與極短的真空建立時間。

  •  

    專為高水蒸氣製程設計之氣鎮技術

    特別針對伴隨大量水氣與凝結性氣體的潮濕乾燥製程進行優化。透過開啟機身內建的 Gas Ballast(氣鎮閥),水蒸氣容許處理率可高達 500 g/hr。能有效阻絕製程水氣在幫浦內部凝結與積累,確保長期運轉的耐用度。

  •  

    完全無需冷卻水(Air-Cooled)的極簡配置

    採用原廠優化的特殊全風冷冷卻外殼結構。運轉全程僅需依賴內建的高剛性散熱風扇與氣流導向。這意味著廠端完全不需額外布設昂貴的水冷冰水主機與冷卻水循環管路,能完美消除因水垢堵塞、漏水所導致的停機風險。

  •  

    大幅輕量緊湊與便捷的維護視窗

    機身整體設計極具一體性與精巧化,底部自帶重型移動滾輪與固定腳座,機動性極高。底部與側面整合了直觀的 Oil Level Gauge 潤滑油位檢視鏡與保護蓋。日常點檢僅需卸下外蓋即可快速確認,讓保養程序大幅簡化。

  •  

    內建數位通訊與完善的硬體保護連鎖

    每一台 FR060D 乾式幫浦均標準配備工業級 D-sub 15Pin 控制信號接頭,能夠輕易將幫浦的啟停控制與狀態監鎖(Interlock)整合至前段主設備的 PLC 系統中。面板亦直接整合 Circuit Protector(電路保護器),提供全方位的電氣防護。

防護與安裝空間規範 (Installation Standards)

前後/頂部間距
FRONT/REAR/TOP 應保持 100mm 以上空間
機身兩側間距
SIDE 兩側應保持 50mm 以上之通風散熱空間
電壓波動耐受
容許 ±10% 瞬態電壓波動(非穩態運轉規格)

周邊通風防護安全提醒 (Cooling Spaces)

為了確保排氣幫浦在無水冷狀態下進行長期的連續運轉,安裝時請務必在機身周圍預留足夠的散熱對流空間。切勿堵塞其通風散熱孔。使用前請務必詳閱產品說明書,以確保設備之正常發揮與全壽命運轉。

FR060D 乾式真空幫浦系列產品型號命名解碼

FR060D [電源相數與控制配置代碼]

請參考下方結構化選型定義,確認最符合您廠區電源配置與設備自動化整合的最適乾式幫浦型號:

FR060D

標準型: 三相交流電(3 Phase),適用電壓 200–240V,具備優異的電網平衡性與工業級連續運轉效能。

FR060D-2

單相型: 單相交流電(1 Phase),適用電壓 200–240V,適合缺乏三相電源的實驗室或移動式分析儀器系統整合。

控制通訊配置

D-sub 15Pin: 全系列通用。內建遠端控制訊號接口、電路保護器(Circuit Protector)與大氣開口開關控制。

技術規格矩陣表 (Technical Specification Matrix)

空冷式乾式真空幫浦核心參數 FR060D (三相款) FR060D-2 (單相款)
最大排氣速度 (Volume Flow Rate - Max) 1,000 L/min 1,000 L/min
大氣壓下排速 (Volume Flow Rate - Atmospheric Open) 800 L/min 800 L/min
到達極限壓力 - 氣鎮閥關閉 (Base Pressure - Gas Ballast OFF) 1.0 Pa 1.0 Pa
到達極限壓力 - 氣鎮閥開啟 (Base Pressure - Gas Ballast ON) 2.0 Pa 2.0 Pa
吸氣口 / 排氣口法蘭標準 (Inlet / Outlet Connection) KF40 / KF40 KF40 / KF40
極限壓力下功耗 / 最大功耗 (Approx. Power kW) 1.1 kW / 1.3 kW 1.1 kW / 1.3 kW
額定電流強度 (Current Rating A) 6.5 A 11.1 A
最大水蒸氣容許度 (Maximum Water Vapor Tolerance) 500 g/h 500 g/h
最高容許吸氣壓力 (Maximum Inlet Pressure) 大氣壓 (Atmospheric) 大氣壓 (Atmospheric)
內部潤滑油充填量 (Lubrication Oil Quantity) 90 mL 90 mL
幫浦本體淨重 (Approx. Weight) 90 kg 75 kg
輸入供電電壓標準 (Inlet Voltage 50/60 Hz) 3 Phase, 200–240V 1 Phase, 200–240V
容許工作環境溫度 (Ambient Temperature) 5 – 40 °C 5 – 40 °C
遠端遠程控制接口 (Control Signal Interface) D-sub 15Pin D-sub 15Pin

* 備註:規格表中的 ±10% 電壓波動率為最大暫態耐受容許值,非指長期穩態運轉下之連續電壓規格。

多領域泛用真空應用範疇

一般工業真空排氣與基礎抽氣系統 (General Vacuum) 材料、藥品與化學部件之真空乾燥製程 (Drying) 半導體與光電製程進料室 / 傳送室 (Load Locks / Transfer Chamber) 小型實驗室抽氣真空系統整合 (Small Laboratory System) 高真空 PVD 鍍膜與濺鍍系統前級 (Sputtering / PVD Equipment) 小型真空熱處理設備與真空爐線 (Small Vacuum Furnaces) 精密分析檢測與物理量測儀器 (Analysis and Measurement System) 高真空幫浦之前級背壓輔助排氣 (Backing Pump for High Vacuum Pump) 電子束轟擊、離子源設備排氣 (EB-gun, Ion Source) 自動化產線之吸盤與真空夾具 (Vacuum Chuck)

技術支援與在地化服務

九德松益(Cutes Corp)自1998年起,為日本大阪真空(OSAKA VACUUM, LTD)乾式真空幫浦之臺灣總代理與原廠授權維修服務據點,深耕臺灣。

結合九德松益逾半世紀在台灣工業真空領域的厚實根基,與日本大阪真空(Osaka Vacuum)享譽國際的高端乾式排氣幾何構造與高效強迫氣冷設計,我們專為高水氣環境、真空腔體與生產線提供最經濟高效、免除複雜水路的潔淨高真空背壓解決方案。臺灣本地技術常設原廠維修據點與工程團隊,提供極速、原廠級規格的精密拆解清洗、軸承檢修與氣密測試防禦維護(PM),常備原廠零件與專用潤滑脂,為廠端研發與分析製程產線帶來最高時效、零時差的信賴售後保障。

完全無油乾式抽氣系統
排氣流道無任何潤滑油氣介入,能完全消除製程端返油油氣污染,打造極淨的製程與實驗室真空腔體環境。
高適應性精簡布局
免去工廠水冷迴路鋪設與水質結垢監控,控制箱與外觀體積大幅精簡,顯著降低系統初期的資本購置與日後維護支出。